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申请/专利权人：中国科学技术大学

摘要：本发明涉及一种用于粒子加速器真空结构材料的低温二次电子测试样品架，包括：样品、样品座、样品底板、压片、绝缘垫、法拉第筒、螺钉、塞块、低温冷屏、螺栓、固定板、过渡管、陶瓷管和液氦输液管；本发明兼顾超高真空和二次电子测试的前提下本发明用于10‑8Pa超高真空环境下，兼顾二次电子测试的条件下，设计独特样品架结构使液氦流进样品座内部，实现样品4.7K低温，完成低温二次电子测试，同时本发明设计结构巧妙，操作简单，攻克导热、超高真空、电绝缘彼此限制。

主权项：1.一种用于粒子加速器真空结构材料的低温二次电子测试样品架，其特征在于：包括：样品、样品座、样品底板、压片、绝缘垫、法拉第筒、螺钉、塞块、低温冷屏、螺栓、固定板、过渡管、陶瓷管和液氦输液管；压片定位样品，使样品处在正确的位置；连接螺钉连接压片固定样品在样品底板上，保证样品在测试工作中能够处在正确的位置而不产生位移偏差；样品底板边缘刀口限制样品底板行程极限，并一次装夹A样品和B样品，分别用于电流法和法拉第筒法测试低温二次电子，低温指的是被测样品的温度在4.7K以内，能够在同一实验条件下，对比两种测试方法，即电流法和法拉第筒法测试的测试结果；样品座设计特殊的结构，所述特殊结构包括凸起、凹槽、内部U型回路；凸起内侧面的凹槽与样品座底板实现过渡配合，样品座凹槽处与绝缘垫过盈配合，再通过螺钉连接与法拉第筒，绝缘垫绝缘样品座与法拉第筒，便于从法拉第筒采集电流，样品座两侧钻螺纹小孔，并在样品座内部加工U型孔，形成液氦冷却回路；A样品用于电流法测试低温二次电子，导线通过螺钉固定在样品座上；钣金工艺制成的无氧铜法拉第筒安装在B样品正上方，法拉第筒的顶部冲压出的圆孔，电子枪与该圆孔同轴，电子束穿过该圆孔轰击低温样品表面，产生的二次电子由低温样品表面发射，被法拉第筒收集；按照样品座、过渡管、陶瓷管和输液管的顺序依次钎焊连接，实现液氦运动回路，过渡管的作用避免陶瓷管与样品座直接钎焊产生的热量破坏密封性，陶瓷管起到电绝缘性，液氦输液管输送液氦；低温冷屏能够降低热辐射，在螺栓的作用下连接固定板压在过渡管上；液氦在3-4PSI压力作用下，经液氦输液管、陶瓷管和过渡管流进样品座内，在对流换热作用下，样品座温度降温至4.7K，液氦气化成冷氦气，流回液氦零蒸发系统回收再利用。

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百度查询： 中国科学技术大学 用于粒子加速器真空结构材料的低温二次电子测试样品架