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申请/专利权人：河源市艾佛光通科技有限公司
摘要：本申请涉及体声波谐振器技术领域，具体提供了一种体声波谐振器及其制备方法，该谐振器包括：由下至上依次连接的衬底、支撑层、底电极、三明治结构压电层和顶电极；三明治结构压电层包括多层压电薄膜和若干层极性反转缓冲层，压电薄膜和极性反转缓冲层交替设置且压电薄膜层数比极性反转缓冲层层数多一；在极性反转缓冲层的数量为多层时，相邻的极性反转缓冲层互斥；衬底顶部设有空气腔，空气腔基于贯穿支撑层、底电极、压电薄膜、极性反转缓冲层和顶电极的通孔连接顶电极外侧；该谐振器能够有效地解决由于需要通过对压电薄膜进行元素掺杂的方式使相邻的压电薄膜的极性相反而导致压电薄膜的质量下降的问题，从而有效地提高体声波谐振器的性能。
主权项：1.一种体声波谐振器，其特征在于，所述体声波谐振器包括：由下至上依次连接的衬底、支撑层、底电极、三明治结构压电层和顶电极；所述三明治结构压电层包括多层压电薄膜和若干层极性反转缓冲层，所述压电薄膜和所述极性反转缓冲层交替设置且所述压电薄膜层数比所述极性反转缓冲层层数多一；所述压电薄膜为AlN基薄膜，在所述极性反转缓冲层的数量为多层时，相邻的极性反转缓冲层互斥；所述衬底顶部设有空气腔，所述空气腔基于贯穿所述支撑层、所述底电极、所述压电薄膜、所述极性反转缓冲层和所述顶电极的通孔连接所述顶电极外侧；所述三明治结构压电层包括由下至上依次连接的第一压电薄膜、第一极性反转缓冲层、第二压电薄膜、第二极性反转缓冲层和第三压电薄膜；所述第一极性反转缓冲层为N极性反转层，所述第二极性反转缓冲层为Al极性反转层，所述第一压电薄膜和所述第三压电薄膜的极性为Al极性，所述第二压电薄膜的极性为N极性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河源市艾佛光通科技有限公司 一种体声波谐振器及其制备方法
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