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申请/专利权人：乂易半导体科技(无锡)有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种电子存取货架，包括：储物架，内部设置有至少一列储物格，所述储物格用于存储晶圆传送盒，所述储物架具有一进出料口；搬运装置，设置在所述储物架内，所述搬运装置用于将位于所述进出料口处的晶圆传送盒搬运至所述储物格内或者将所述储物格内的晶圆传送盒搬运至所述进出料口处；监测装置，设置在所述储物架内，所述监测装置用于监测所述晶圆传送盒在所述储物架内的位置。通过设置所述搬运装置能够将所述晶圆传送盒转移至任一位置的储物格内，不需要人工将晶圆传送盒进行搬上搬下，实现了所述晶圆传送盒的自动化存放和取出，避免了搬运过程中可能出现突发意外情况。此外，通过设置所述监测装置对所述储物架内的晶圆传送盒的位置进行实时监控，能够便于根据储物格的存储状态合理地安排所述晶圆传送盒的存放以及便于对所述晶圆传送盒的自动化搬运进行控制。
主权项：1.一种电子存取货架，其特征在于，包括：储物架，内部设置有至少一列储物格，所述储物格用于存储晶圆传送盒，所述储物架具有一进出料口；搬运装置，设置在所述储物架内，所述搬运装置用于将位于所述进出料口处的晶圆传送盒搬运至所述储物格内或者将所述储物格内的晶圆传送盒搬运至所述进出料口处；监测装置，设置在所述储物架内，所述监测装置用于监测所述晶圆传送盒在所述储物架内的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 乂易半导体科技(无锡)有限公司 电子存取货架
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