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申请/专利权人：宏易半导体(南通)有限公司
摘要：本实用新型涉及一种多通道真空腔，所述真空腔包括外套、内芯，所述内芯旋转安装外套内，在外套与内芯之间形成若干环形气室，所述内芯内设置有若干气道，各气道的进口位于内芯的外周面上、轴向错开，各气道的出口位于内芯的外周面上、径向围成一圈，所述外套上安装有若干进气管、若干出气管；各进气管与各环形气室一一对应连接，各环形气室与各气道的进口一一对应连接，各出气管与各气道的出口一一对应、并随内芯旋转与对应气道的出口连接或断开连接。利用环形气室与气道配合构建多通道，并通过内芯的旋转实现多通道的打开与关闭，满足尾气处理设备的需求。
主权项：1.一种多通道真空腔，其特征在于，所述真空腔包括外套、内芯，所述内芯旋转安装外套内，在外套与内芯之间形成若干环形气室，所述内芯内设置有若干气道，各气道的进口位于内芯的外周面上、轴向错开，各气道的出口位于内芯的外周面上、径向围成一圈，所述外套上安装有若干进气管、若干出气管；各进气管与各环形气室一一对应连接，各环形气室与各气道的进口一一对应连接，各出气管与各气道的出口一一对应、并随内芯旋转与对应气道的出口连接或断开连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宏易半导体(南通)有限公司 一种多通道真空腔
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