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申请/专利权人：上海松尚集芯半导体科技有限公司

摘要：本实用新型公开了一种正压供液系统，涉及半导体技术领域。本实用新型包括第一储液罐、第二储液罐；供应的纯水由纯水供应端经带有第一手阀、第九二通阀的管路分别与第一储液罐上部的第一纯水入口、第二储液罐上部的第二纯水入口相连；本系统能够代替泵作为液体输送，以储液罐的两个罐体为主体，利用真空泵使得罐体内产生负压，将药液吸入罐体内，再通过通入氮气将液体压出从而实现液体的输送；能够代替传统流体泵供液；通过抽真空和压入惰性气体的手段实现液体的吸入和输出；不存在由于频繁往复运动造成的配件的损坏，使用寿命显著的增长；储液罐采用聚偏二氟乙烯材料，清洁无污染，并且结构简单易维护且成本低。

主权项：1.一种正压供液系统，其特征在于，包括并列布置的第一储液罐1、第二储液罐2；供应的纯水由纯水供应端6经带有第一手阀601、第九二通阀602的管路分别与第一储液罐1上部的第一纯水入口101、第二储液罐2上部的第二纯水入口201相连；供应的氮气由氮气供应端5经带有第二手阀501、调节阀504的管路分别与第一储液罐1上部的第一氮气入口103、第二储液罐2上部的第二氮气入口203相连；位于调节阀504与第一氮气入口103之间以及调节阀504与第二氮气入口203之间分别安装有第六二通阀502、第八二通阀503；位于第一储液罐1、第二储液罐2的顶部分别设有与真空泵4之间通过管路相连的第一真空出口102、第二真空出口202，所述真空泵4与第一真空出口102之间以及真空泵4与第二真空出口202之间分别安装有第五二通阀401、第七二通阀402；所述真空泵4经带有止逆阀403的管路与废气排放口404相连；位于第一储液罐1的底部设有第一药液入口105、第一药液出口104；位于第二储液罐2的底部设有设有第二药液入口205、第二药液出口204；所述第一药液入口105、第二药液入口205分别经带有第二二通阀107、第四二通阀207的管路与药液存储罐3相连；所述第一药液出口104、第二药液出口204分别接带有第一二通阀106、第三二通阀206的管路后，一路与第十二通阀302连接后与废水排放口303相连，另一路与第十一二通阀301连接后与药液排出口304相连。

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