龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：内蒙古大全半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种电子级半导体副产氢气超高纯提纯系统，属于半导体技术领域，为了解决氢气提纯后纯度不高、经济成本较大的问题，本实用新型利用物质不同的物理特性，首先通过沸点不同，将易冷凝的重组分物质（氯硅烷）脱离，在通过氯化氢吸附塔，将轻组分（氢气等混合气）分离，利用不同物质的性质，选择相对应的吸附剂，层层吸附达到提纯氢气的目的，提纯纯度较高，也可以达到9N级超纯氢气；该系统简化了操作，整个流程涉及都是静设备，且吸附再生过程可实现程序全自动化，投资较少，相比较低温吸附，无需增加回收设备，无需使用液氮消耗；所有工况几乎都是在常温下进行，设备、管材、阀门选型替换种类多，成本可降低。
主权项：1.电子级半导体副产氢气超高纯提纯系统，其特征在于，其包括有空气冷凝器、一次水冷却器、二次水冷却器、氯硅烷储罐、板式换热器、末级冷却器、氯化氢吸附塔、钯铂触媒装置、分子筛纯化装置、分离装置、氢气吸附装置；所述空气冷凝器的入口与还原尾气管线连接，所述空气冷凝器的出口与所述一次水冷却器的入口管线连接，所述一次水冷却器的出口与所述二次水冷却器的入口管线连接，所述二次水冷却器的冷凝液出口与所述氯硅烷储罐的入口管线连接，所述二次水冷却器的气体出口与所述板式换热器的热介质入口管线连接，所述板式换热器的热介质出口与所述末级冷却器的入口管线连接，所述末级冷却器的出口与所述氯化氢吸附塔的入口管线连接，所述氯化氢吸附塔的顶端出口与所述板式换热器的冷介质入口管线连接，所述板式换热器的冷介质出口与所述钯铂触媒装置的入口管线连接，所述钯铂触媒装置的出口与所述分子筛纯化装置的入口管线连接，所述分子筛纯化装置的出口与所述分离装置的入口管线连接，所述分离装置的出口与所述氢气吸附装置的入口管线连接，所述氢气吸附装置的出口与氢气储罐的入口管线连；所述氯化氢吸附塔的底端出口与氯化氢精馏储罐的入口管线连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 内蒙古大全半导体有限公司 电子级半导体副产氢气超高纯提纯系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号