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申请/专利权人：纳美半导体设备(广州)有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆片测试技术领域，具体涉及一种具有烘干功能的晶圆片上料装置，包括连接座；所述连接座设有上料座以及烘干座；所述烘干座设于上料座的顶部；所述上料座包括底板；所述底板设有真空吸嘴；所述烘干座包括进气壳以及加热壳；所述进气壳设有进气口；所述加热壳内设有与进气口连通的加热腔；所述加热腔内设有导热桶；所述导热桶内设有加热件；所述导热桶的外周设有多个鳍片；所述出气口连通有导气杆；所述导气杆延伸至底板的底部本实用新型加热件通过金属导热桶将热量进行传导，并且通过金属鳍片的作用，将导热面积增大，增大了压缩气体与导热桶以及鳍片的接触面积，从而能够有效地对压缩气体进行加热，提高了对压缩气体的加热效果。
主权项：1.一种具有烘干功能的晶圆片上料装置，其特征在于：包括连接座1；所述连接座1设有上料座以及烘干座；所述烘干座设于上料座的顶部；所述上料座包括底板2；所述底板2设有真空吸嘴21；所述烘干座包括进气壳3以及设于进气壳3底部的加热壳4；所述加热壳4设于底板2的顶部；所述进气壳3设有进气口31；所述加热壳4内设有与进气口31连通的加热腔41；所述加热腔41的底部设有出气口42；所述加热腔41内设有导热桶5；所述导热桶5内设有加热件54；所述导热桶5的外周设有多个鳍片51；所述出气口42连通有导气杆43；所述导气杆43延伸至底板2的底部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 纳美半导体设备(广州)有限公司 一种具有烘干功能的晶圆片上料装置
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