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一种金刚石生长温度调节装置 

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申请/专利权人:成都稳正科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种金刚石生长温度调节装置,包括水冷台,设于水冷台上用于生长金刚石的钼台,以及设于水冷台上用于对钼台进行温度调节的温度调节机构;温度调节机构包括换热机构,以及与钼台相连的水热循环机构;换热机构包括与水热循环机构相连的换热器,以及与换热器相连的冷源。本实用新型结构简单、设计科学合理,使用方便,随金刚石生长过程的进行,采用温度可控的水流调整钼台温度,进而通过钼台温度的调整间接调整金刚石生长温度使得金刚石于适宜温度下生长,无需通过降低压力和功率来降低晶体的温度,本实用新型使得金刚石生长温度适宜的同时,使金刚石生长速率得以保持。

主权项:1.一种金刚石生长温度调节装置,其特征在于,包括水冷台1,设于水冷台1上用于生长金刚石的钼台2,以及设于水冷台1上用于对钼台2进行温度调节的温度调节机构;温度调节机构包括换热机构3,以及与钼台2相连的水热循环机构;换热机构3包括与水热循环机构相连的换热器4,以及与换热器4相连的冷源5。

全文数据:

权利要求:

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