龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中芯微(周口)半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种半导体制造用湿法氧化装置，涉及半导体技术领域，具体为包括工作架和安装架，所述工作架的上表面与安装架固定连接，所述工作架的上表面转动连接有转盘，所述转盘的上表面固定连接有固定杆，所述固定杆的一侧固定连接有固定架，所述转盘的上表面开设有放置槽，所述放置槽的上表面设置有反应盒，所述安装架的上表面固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有螺纹杆。该半导体制造用湿法氧化装置，可以通过固定架、外壳、移动板、固定杆、限位板、弹簧、连接板和防护板之间的配合设置，再将反应盒安装到固定架内之后，通过弹簧的弹性带动防护板对反应盒进行加持固定，从而起到了固定的作用。
主权项：1.一种半导体制造用湿法氧化装置，包括工作架（1）和安装架（2），其特征在于：所述工作架（1）的上表面与安装架（2）固定连接，所述工作架（1）的上表面转动连接有转盘（3），所述转盘（3）的上表面固定连接有固定杆（4），所述固定杆（4）的一侧固定连接有固定架（5），所述转盘（3）的上表面开设有放置槽（6），所述放置槽（6）的上表面设置有反应盒（7），所述安装架（2）的上表面固定安装有第一电机（8），所述第一电机（8）的输出端固定连接有螺纹杆（9），所述螺纹杆（9）的外表面螺纹连接有螺纹板（10），所述螺纹板（10）的一侧与安装架（2）滑动连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯微(周口)半导体有限公司 一种半导体制造用湿法氧化装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号