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申请/专利权人：苏州臻泰真空技术有限公司
摘要：本实用新型公开了一种新型射频离子源多层栅网，包括：固定环，设置在所述固定环内侧的若干栅网本体，以及设置在所述固定环内侧的连接组件；所述连接组件包括：开设在所述固定环内侧的若干连接槽，开设在所述连接槽内部一侧的若干定位槽，以及开设在所述固定环顶部和若干定位槽表面的若干螺纹孔；所述栅网本体的侧面固定有若干固定块，在向固定环的内侧安装多层栅网本体时，通过连接槽和定位槽的配合，可以将若干栅网本体侧面的若干固定块，一一对应定位在若干定位槽的内侧，通过螺纹孔、定位孔和连接螺钉的配合，可以一次性将若干栅网本体同时安装固定，进而无需对单个栅网本体进行单独安装，从而省时省力提高了实用性。
主权项：1.一种新型射频离子源多层栅网，其特征在于，包括：固定环1，设置在所述固定环1内侧的若干栅网本体2，以及设置在所述固定环1内侧的连接组件；所述连接组件包括：开设在所述固定环1内侧的若干连接槽3，开设在所述连接槽3内部一侧的若干定位槽31，以及开设在所述固定环1顶部和若干定位槽31表面的若干螺纹孔32；所述栅网本体2的侧面固定有若干固定块33，所述固定块33的表面开设有定位孔34，所述螺纹孔32和所述定位孔34的内侧螺纹连接有连接螺钉35。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州臻泰真空技术有限公司 一种新型射频离子源多层栅网
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