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申请/专利权人：盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
摘要：本实用新型实施例提供了一种气体喷嘴出气均匀性检测装置，包括手阀、调压阀、第一流量计和第二流量计，手阀、调压阀和第一流量计顺序连接于分气环的进气管路，第二流量计与分气环上的喷嘴连接。通过手阀控制进气端的开启和关闭，通过调整调压阀和第一流量计将分气环的进气端的流量调整至固定值，通过第二流量计与喷嘴连通读取分气环的出气端的流量，根据第二流量计的数据更换喷嘴以将分气环上的每个喷嘴的流量调整至一致，调整完成后将分气环安装至机台，从而避免了安装后反复开腔更换喷嘴，实现了缩短调试时间，降低调试成本，提高生产效率。
主权项：1.一种气体喷嘴出气均匀性检测装置，其特征在于，包括手阀、调压阀、第一流量计和第二流量计，所述手阀、所述调压阀和所述第一流量计顺序连接于分气环的进气管路，所述第二流量计与所述分气环上的喷嘴连接。
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