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申请/专利权人：光芯互连(苏州)科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种6×6阵列的光波导开关。在二氧化硅衬底上沉积刻蚀6根长的硅波导和13根短的相变薄膜波导构成阵列光开关；6根硅波导两两分别组成上行、中行和下行各两个输入端口和两个输出端口；硅波导包括相间分布的直波导段和弯曲波导段，相变复合波导为直波导；相变薄膜波导位于相邻两根平行设置的硅波导的直波导段中间，光波导阵列呈双轴对称结构。本实用新型提供的光波导开关有6个输入端口和6个输出端口，可在任意端口输入、任意端口输出。本实用新型提供的光波导开关具有多路输出、集成度高、切换速率高等特点。
主权项：1.一种6×6阵列的光波导开关，其特征在于：它由6根长的硅波导和13根短的相变薄膜波导构成阵列光开关；6根硅波导两两分别组成上行、中行和下行各两个输入端口和两个输出端口；单根硅波导在长度方向为直波导段和弯曲波导段相间，相变复合波导为直波导；相变薄膜波导位于相邻两根平行设置的硅波导的直波导段中间，光波导阵列呈双轴对称结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光芯互连(苏州)科技有限公司 一种6×6阵列的光波导开关
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