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申请/专利权人：福建睿创光电科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种自制光刻板的固定夹具，包括基板，基板中部设有孔部，所述基板位于孔部的两侧滑动设有滑座，所述滑座靠近孔部的一端设有光刻板托板以及用于固定光刻板的固定组件，基板上还设有驱动滑座沿孔部径向滑动的调节组件，本实用新型的固定家具可用于夹持固定不同大小的自制相位型光刻板，保证自制光刻板曝光过程的稳定。
主权项：1.一种自制光刻板的固定夹具，其特征在于：包括基板（1），基板（1）中部设有孔部（2），所述基板（1）位于孔部（2）的两侧滑动设有滑座（3），所述滑座（3）靠近孔部（2）的一端设有光刻板托板（4）以及用于固定光刻板的固定组件，基板（1）上还设有驱动滑座（3）沿孔部（2）径向滑动的调节组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福建睿创光电科技有限公司 一种自制光刻板的固定夹具
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