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申请/专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要：本发明提供一种硅基荧光传感芯片及系统，硅基荧光传感芯片包括光波导、待检测物质通道和感光元件，通入光波导内的激光激发荧光材料层产生荧光信号，荧光材料与待检测物质通道通入的待检测物质反应后，产生变化的荧光信号并耦合至感光元件。本发明通过光波导进行荧光的产生、传导和检测反应，提高检测灵敏度和效率，缩小荧光传感器的尺寸，降低功耗，简化结构，制备方法与半导体工艺兼容，降低成本；同时利用光波导内进行光传导的方法，降低荧光传导过程中的损耗，避免荧光与其他光源发生串扰；另外通过将光波导与待检测物质通道垂直设置，提高检测灵敏度；最后利用多模干涉耦合器分束激光，使产生的荧光信号更均匀，检测结果更可靠。
主权项：1.一种硅基荧光传感芯片，其特征在于，所述芯片包括：光波导、待检测物质通道和感光元件；所述光波导包括波导层和设置于所述波导层上的检测流道，所述检测流道包括设置于所述波导层上的荧光材料层和覆盖所述荧光材料层的反应腔；所述待检测物质通道与所述光波导的检测流道相交，所述待检测物质通道设置有进口通道和出口通道，所述反应腔的一端与所述进口通道相连通，所述反应腔的另一端与所述出口通道相连通；外界的激光导入所述光波导的所述波导层，所述激光激发所述荧光材料层产生荧光信号，待检测物质通过所述待检测物质通道的所述进口通道进入所述反应腔与所述荧光材料层发生作用，使荧光信号发生改变，所述光波导将改变后的所述荧光信号耦合至所述感光元件，所述感光元件将所述荧光信号转换成电信号，反应后的所述待检测物质从所述待检测物质通道的所述出口通道排出。
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权利要求：
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