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高功率边射型激光装置及其制造方法 

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申请/专利权人:和光光电股份有限公司

摘要:本发明揭露一种高功率边射型激光装置及其制造方法,高功率边射型激光装置包括基板、第一披覆层、发光层、第二披覆层、覆盖层、保护层以及镀膜层。第一披覆层设置在基板上,发光层设置在第一披覆层上,第二披覆层设置在发光层上,覆盖层设置在第二覆盖层上,覆盖层及第二披覆层具有脊波导,脊波导为T型外型。保护层设置于发光平台上,镀膜层设置于保护层上并覆盖发光面。

主权项:1.一种高功率边射型激光装置,其包含:基板;第一披覆层,设置在所述基板上;发光层,设置在所述第一披覆层上;第二披覆层,设置在所述发光层上;覆盖层,设置在所述第二披覆层上,其中所述覆盖层及所述第二披覆层具有脊波导,所述脊波导包含沿着第一方向设置的脊柱部、及在所述脊柱部的两端沿着垂直于所述第一方向的第二方向设置的外延部,所述脊柱部及所述外延部形成T型外型,使得所述脊波导在所述外延部的宽度大于在所述脊柱部的宽度;保护层,设置于发光平台上,所述发光平台界定所述发光层在所述第一方向上的长度,且所述发光平台的一侧露出所述发光层的发光面;以及镀膜层,设置于所述保护层上并覆盖所述发光面,并在相对于所述发光面的另一端设置反射面,使得所述发光层在所述发光面与所述反射面之间形成共振腔,由所述发光面发射激光。

全文数据:

权利要求:

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