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申请/专利权人：株式会社爱发科
摘要：本发明涉及以更换灯丝的可操作性好的质谱仪作为对从试验体导入的气体成分进行分析的质谱仪。其具备封套，所述封套具有沿X轴方向延伸的主管部，以及从主管部分支并沿与X轴方向正交的Z轴方向一方延伸的分支管部。分支管部通过切换阀与试验体连接。在主管部内朝向X轴方向下游依次收纳离子源、质量分离部和检测部，在主管部的另一端连接控制单元。离子源具有：配置在X轴方向一端侧的灯丝；位于灯丝的X轴方向下游并对热电子给予规定的运动的运动给予室；以及位于运动给予室的X轴方向下游侧而使气体离子化的离子化室。还具备开闭自如地闭塞主管部的一端的盖板，在分支管部内插设有内管，其前端部向主管部内突出并向离子化室延伸。
主权项：1.一种对从真空气氛的试验体导入的气体的成分进行分析的质谱仪，其特征在于：具备封套，其具有：在X轴方向上延伸的主管部；以及从该主管部分支并沿与X轴方向正交的Z轴方向的一个方向延伸的第1分支管部；在第1分支管部上间置切换阀而与试验体连接；在主管部内从其一端侧向另一端朝X轴方向下游依次收纳离子源、质量分离部和检测部，在主管部的另一端连接有控制单元；离子源具有：灯丝，其配置在X轴方向一端侧，通过通电放出热电子；运动给予室，其位于灯丝的X轴方向下游，对所放出的热电子给予规定的运动；以及离子化室，其位于该运动给予室的X轴方向下游侧，使从试验体导入的气体与热电子碰撞而使气体离子化；还具备开闭自如地闭塞面对灯丝的主管部的一端的盖板；在第1分支管部内插设有内管，其前端部向主管部内突出并向离子化室延伸。
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