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一种Micro MIP器件制成方法 

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申请/专利权人:山西高科华烨电子集团有限公司

摘要:本发明公开了一种MicroMIP器件制成方法,该方法包括以下步骤:S1.将含有LED芯片的COW与临时载板键合并进行激光剥离;S2.进行三色芯片的巨量转移,将三色芯片按照矩阵排列转移到同一载板上;S3.准备一块钢化玻璃,并在其单面进行胶水涂布;S4.在钢化玻璃表面按照矩阵排列进行金属走线和金属焊盘的沉积;S5.通过巨量焊接技术将芯片载板与已制备线路的钢化玻璃焊接;S6.通过激光剥离技术剥离芯片的载板;S7.对钢化玻璃上的结构进行封装;S8.通过隐切方式对MicroMIP器件进行切割;通过本发明的制成技术,可以制备出MicroLED显示屏所需的MicroMIP器件,解决MicroMIP制成周期长、难以实现量产全自动的问题。本发明的制成方法简单高效。

主权项:1.一种MicroMIP器件制成方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:S1.将含有LED芯片的COW与临时载板键合并进行激光剥离;S2.进行三色芯片的巨量转移,将三色芯片按照矩阵排列转移到同一载板上;S3.准备一块钢化玻璃,并在其单面进行胶水涂布;S4.在钢化玻璃表面按照矩阵排列进行金属走线和金属焊盘的沉积;S5.通过巨量焊接技术将芯片载板与已制备线路的钢化玻璃焊接;S6.通过激光剥离技术剥离芯片的载板;S7.对钢化玻璃上的结构进行封装;S8.通过隐切方式对MicroMIP器件进行切割;S9.通过激光剥离方式将单个MicroMIP器件从钢化玻璃上分离。

全文数据:

权利要求:

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