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申请/专利权人：上海大学
摘要：本发明公开了一种具有高热稳定性钛基高熵非晶合金的制备方法，属于高熵合金制备技术领域。本发明的钛钒锆铌钽钼硼高熵非晶合金薄膜，按摩尔份数记，包括以下化学成分：Ti47.3份、V25份、Zr11份、Nb14份、Ta2份、Mo0.5份和B0.2份。制备方法包括以下步骤：按比例混合各化学成分，熔炼，得到高熵合金靶材：以单晶硅片为基底，采用磁控溅射的方法将所述高熵合金靶材溅射在单晶硅片表面，得到所述钛钒锆铌钽钼硼高熵非晶合金薄膜。本发明提供了一种高热稳定性高熵非晶合金薄膜的制备方法，解决了非晶合金的高强度在高温下不能保持的问题，具有优异的实用价值和研究价值。
主权项：1.一种钛钒锆铌钽钼硼高熵非晶合金薄膜，其特征在于，按摩尔份数记，包括以下化学成分：Ti47.3份、V25份、Zr11份、Nb14份、Ta2份、Mo0.5份和B0.2份。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海大学 一种具有高热稳定性钛基高熵非晶合金的制备方法
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