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一种微流控超表面及其制造方法 

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申请/专利权人:北京机械设备研究所

摘要:本发明公开了一种微流控超表面及其制造方法,包括密封层、柔性介质层和驱动控制层,所述柔性介质层上设置有螺旋结构单元组,所述螺旋结构单元组包括多个相互连通的螺旋形微流道;所述密封层设置在所述柔性介质层顶面,以将液态金属密封在所述螺旋形微流道中;所述驱动控制层设置在所述柔性介质层底面,用于控制所述螺旋形微流道中液态金属的流动位置及形状。本发明的微流控超表面在柔性介质层中形成螺旋形微流道,通过液态金属在螺旋形微流道中的可逆连续流动控制,实现电磁响应频率连续动态重构,实现20GHz‑40GHz宽频带响应能力,具有响应频率波束连续调控、宽频扫描感知、定频聚束感知等功能。

主权项:1.一种微流控超表面,其特征在于,包括密封层、柔性介质层和驱动控制层,所述柔性介质层上设置有螺旋结构单元组,所述螺旋结构单元组包括多个相互连通的螺旋形微流道;所述密封层设置在所述柔性介质层顶面,以将液态金属密封在所述螺旋形微流道中;所述驱动控制层设置在所述柔性介质层底面,用于控制所述螺旋形微流道中液态金属的流动位置及形状。

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权利要求:

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