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申请/专利权人:中国科学院兰州化学物理研究所
摘要:本发明公开了一种耐腐蚀耐磨损低摩擦碳复合薄膜,应用于海洋环境中滚动轴承表面具有优异的耐腐蚀性能、低摩擦系数、长耐磨寿命等特点,属于真空镀膜技术领域和轴承表面处理技术领域。本发明采用闭合磁场‑多靶溅射沉积技术,以Ti和石墨为溅射靶材,氩气为溅射气体,甲烷为反应气体,通过反应+溅射共沉积的方法制备而成,其结构自工件表面由内向外依次为Ti粘接层,TiN承载层,TiNC梯度层,TiCC功能层,这种多层梯度渐变结构有效提高了薄膜承载能力和耐磨损性能;同时,功能层纳米晶TiC非晶碳的弥散强化作用提高了薄膜耐腐蚀性能和低摩擦性能,应用于滚动轴承表面可提高轴承在腐蚀环境中的长寿命和高可靠润滑服役性能。
主权项:1.一种耐腐蚀耐磨损低摩擦碳复合薄膜,其特征在于:碳复合薄膜的结构自工件表面由内向外依次为Ti粘接层,TiN承载层,TiNC梯度层,TiCC功能层。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国科学院兰州化学物理研究所 一种耐腐蚀耐磨损低摩擦碳复合薄膜及其制备和在滚动轴承表面的应用
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