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申请/专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司
摘要：本发明涉及PVD镀膜技术领域，具体为一种上腔体自冷却的PVD镀膜设备，包括镀膜主腔体，以及开设在镀膜主腔体右侧面内的进料口；镀膜主腔体的上方设置有上腔体组件，上腔体组件的上方安装有连接板；所述镀膜主腔体的的左侧安装有支撑架，所述储水腔的下方设置有磁铁组件；所述储水腔的内部安装有循环调控组件；所述镀膜主腔体的底面内部贯穿安装有升降调节杆，升降调节杆的上方安装有放置板。该上腔体自冷却的PVD镀膜设备，可根据工作状态对进水孔和出水孔进行自动开合处理，便于自动对冷却水进行更换，使得PVD镀膜设备可自动冷却降温，提高了冷却的质量和效率，提高了磁铁组件和上腔体组件的使用寿命，便于整个PVD镀膜设备很好的进行磁控溅射工作。
主权项：1.一种上腔体自冷却的PVD镀膜设备，包括镀膜主腔体（1），以及开设在镀膜主腔体（1）右侧面内的进料口（2）；镀膜主腔体（1）的上方设置有上腔体组件（3），上腔体组件（3）的上方安装有连接板（4）；其特征在于，还包括：所述镀膜主腔体（1）的的左侧安装有支撑架（11），支撑架（11）的外侧面安装有翻盖控制机构（12）；所述上腔体组件（3）的内部开设有储水腔（301），储水腔（301）的上方为开口状结构设置；所述储水腔（301）内放置有磁铁组件（16）；所述上腔体组件（3）和连接板（4）的内部均贯穿安装有竖杆（6），竖杆（6）的下端与磁铁组件（16）相连接；上腔体组件（3）的下表面安装有靶材本体（15）；所述连接板（4）的左侧面上方连接有连接管（22），连接管（22）的左侧安装有排水管（8）和进水管（9）；所述储水腔（301）内部的承载板上安装有循环调控组件（17），循环调控组件（17）设置在磁铁组件（16）的上方；所述镀膜主腔体（1）的底面内部贯穿安装有升降调节杆（13），升降调节杆（13）的上方安装有放置板（131）。
全文数据：
权利要求：
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