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申请/专利权人：无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体工业技术领域，公开了一种干法刻蚀机用的片架，包括固定板，固定板设有两个，且两个固定板相对的一侧均设有若干个收纳槽，固定板设有若干个传动腔，述传动腔内均滑动连接有安装板，安装板靠近定位孔的一侧固定连接有两个定位杆，定位杆的端部均嵌合有转动连接的橡胶滚珠，此干法刻蚀机用的片架，在晶圆片放置进片架后，三角块的下斜面挤压安装板，可带动安装板朝着收纳槽方向进行移动，使定位杆从定位孔内伸出，利用橡胶滚珠与晶圆片表面进行贴合，完成对晶圆片的夹持固定，橡胶滚珠以其可转动且较为柔软的表面可降低与晶圆片之间的摩擦力，避免因晶圆片与片架之间发生摩擦，导致晶圆片表面容易产生划痕的问题。
主权项：1.一种干法刻蚀机用的片架，包括固定板（1），所述固定板（1）设有两个，且两个所述固定板（1）相对的一侧均设有若干个收纳槽（11），其特征在于：所述固定板（1）设有若干个传动腔（12），且传动腔（12）分布于每个收纳槽（11）的上下两侧，所述收纳槽（11）的内顶壁和内底壁均设有两个与相邻传动腔（12）连通的定位孔（13），所述传动腔（12）内均滑动连接有安装板（4），所述安装板（4）靠近定位孔（13）的一侧固定连接有两个定位杆（41），且定位杆（41）均位于同侧的定位孔（13）内，所述定位杆（41）的端部均嵌合有转动连接的橡胶滚珠（42），所述安装板（4）远离定位杆（41）的一侧与传动腔（12）内壁之间固定连接有若干个安装弹簧（43），所述固定板（1）的一侧固定连接有安装盒（5）；所述传动腔（12）内滑动连接有连接杆（8），所述连接杆（8）靠近安装板（4）的一端固定连接有三角块（82），且三角块（82）的下斜面与安装板（4）的一侧接触。
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权利要求：
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