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申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要：提供了一种用于测试光子集成电路的设备和测试卡、相应系统和光子集成电路。在这种情况下，测试卡24通过光学单元20成像到待测光子集成电路22上。该光子集成电路22在不同位置的平行照明以这种方式是可实现的。
主权项：1.一种用于测试光子集成电路12、22、40、40A-40C的设备，包括：插座，用于具有多个光端口25、61的测试卡24、24A-24E，以及光学单元11、20、20A，用于将该测试卡24、24A-24E成像到待测光子集成电路12、22、40、40A-40C上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 用于测试光子集成电路的设备、测试卡及方法，以及光子集成电路
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