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申请/专利权人：未来宝株式会社
摘要：本发明涉及一种捕获空间效率得到提升的半导体工程用反应副产物捕获装置，作为对反应副产物进行捕获的半导体工程的反应副产物捕获装置，包括：内部捕获塔3，由上段捕获部31、中段捕获部32以及下段捕获部33多段构成，从而通过最大限度地利用有限的外壳内部空间而在变更所流入的排出气体的流路方向的同时对反应副产物进行捕获，其中捕获主要是在包括为了确保外壳1的内壁与内侧区域之间的气体流畅流动而以开放的结构形成的外廓的外廓垂直刀板322、高度小于本发明的构成的特征在于外廓垂直刀板322的内侧垂直刀板323以及底面板324的中段捕获部32中进行捕获之后堆积在其内侧空间。
主权项：1.一种捕获空间效率得到提升的半导体工程用反应副产物捕获装置，其特征在于：作为通过安装在制程腔体与真空泵之间的排气管路上而将从所述制程腔体排出的排出气体流入到外壳1内部并在利用加热器2进行加热的同时进行分配，从而在内部捕获塔3中对反应副产物进行捕获的半导体工程的反应副产物捕获装置，包括：内部捕获塔3，由上段捕获部31、中段捕获部32以及下段捕获部33多段构成，从而通过最大限度地利用有限的外壳内部空间而在变更所流入的排出气体的流路方向的同时对反应副产物进行捕获，其中捕获主要是在包括为了确保外壳1的内壁与内侧区域之间的气体流畅流动而以开放的结构形成的外廓的外廓垂直刀板322、高度小于所述外廓垂直刀板322的内侧垂直刀板323以及底面板324的中段捕获部32中进行捕获之后堆积在其内侧空间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 未来宝株式会社 捕获空间效率得到提升的半导体工程用反应副产物捕获装置
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