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申请/专利权人：易尔德工程系统股份有限公司
摘要：一种从基板去除涂层的方法，包括：将装置的喷嘴定位成，使得喷嘴的远端的纵向轴线与基板的带涂层表面成倾斜角度θ。喷嘴包括内导管和外导管，内导管具有孔口，外导管围绕内导管同轴地布置，并且限定内导管与外导管之间的环形开口。引导液体流通过内导管的孔口朝向带涂层表面，并引导气体流通过环形开口，以使得气体流环绕液体流，并使液体流冲击带涂层表面。
主权项：1.一种从基板的带涂层表面去除至少一部分涂层的装置，包括：至少一个喷嘴，从近端延伸至远端，其中，所述至少一个喷嘴的至少一个远端部分沿纵向轴线延伸，所述纵向轴线与所述带涂层表面成倾斜角度θ，并且其中，所述至少一个喷嘴包括：内导管，在所述远端具有孔口，其中，所述内导管配置为引导液体流通过所述孔口以冲击所述带涂层表面；外导管，围绕所述内导管同轴地布置，并且限定所述内导管与所述外导管之间的环形开口，其中，所述外导管配置为引导气体流通过所述环形开口以环绕来自所述孔口的所述液体流；以及出口端口，配置为在所述液体流冲击所述带涂层表面之后，将来自所述液体流的液体引导离开所述基板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 易尔德工程系统股份有限公司 用于涂层去除的装置及方法
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