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申请/专利权人：苏州德龙激光股份有限公司
摘要：本发明涉及一种新型晶圆基板剥离抓取装置，包括圆盘状结构的滑轨安装板，在吸盘气缸底部的驱动端驱动下方的吸盘安装块在竖直方向上移动，在吸盘安装块的底部安装有吸盘；伺服电机底部的驱动端与位于滑轨安装板下方的凸轮轨道槽盘相连接，滑轨与上方的滑块相连接且滑轨在滑轨安装板的径向上移动，滑轨的内侧通过凸轮轴承随动器与凸轮轨道槽相连接，在夹指安装块的底部安装有夹指。本发明采用吸盘吸附的同时利用三爪定心对产品粗定位便于二次取放，将夹爪和吸盘配合使用，还能防止转移产品过程中上下基板的错位或掉落，达到双保险的目的，降低产品损坏的风险。
主权项：1.新型晶圆基板剥离抓取装置，包括圆盘状结构的滑轨安装板5，在所述滑轨安装板5上沿着圆周方向均布有若干个气缸安装槽18，在所述气缸安装槽18内通过气缸安装块16安装有吸盘气缸15，在所述吸盘气缸15底部的驱动端驱动下方的吸盘安装块14在竖直方向上移动，在所述吸盘安装块14的底部安装有吸盘13；其特征在于：在所述滑轨安装板5上的中间位置通过电机转接板12安装有伺服电机17，所述伺服电机17底部的驱动端与位于滑轨安装板5下方的凸轮轨道槽盘11相连接，在所述凸轮轨道槽盘11上沿着圆周方向均布有若干个弧形结构的凸轮轨道槽，在所述滑轨安装板5的底部沿着圆周方向均布有若干个滑轨7，所述滑轨7沿着滑轨安装板5的径向分布，在所述滑轨7正上方的滑轨安装板5的底部安装有滑块21，所述滑轨7与上方的滑块21相连接且所述滑轨7在滑轨安装板5的径向上移动，所述滑轨7的内侧通过凸轮轴承随动器10与凸轮轨道槽相连接，在所述滑轨7的底部安装有夹指安装块8，在所述夹指安装块8的底部安装有夹指9。
全文数据：
权利要求：
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