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申请/专利权人：中芯热成科技(北京)有限责任公司
摘要：本公开涉及自动化喷涂设备，该自动化喷涂设备包括：喷涂组件、溶液处理组件和控制模块；喷涂组件、溶液处理组件分别与控制模块电连接；控制模块用于控制喷涂组件对待处理样品喷涂形成喷涂膜层；还用于控制溶液处理组件对喷涂膜层进行溶液处理。如此，通过在待处理样品喷涂形成喷涂膜层后，利用溶液处理组件对喷涂膜层进行溶液处理，能够满足不同膜层的制备需求，进而利于实现自动化喷涂设备的大规模应用。
主权项：1.一种自动化喷涂设备，其特征在于，包括：喷涂组件、溶液处理组件和控制模块；所述喷涂组件、所述溶液处理组件分别与所述控制模块电连接；所述控制模块用于控制所述喷涂组件对待处理样品喷涂形成喷涂膜层，以及控制所述溶液处理组件对所述喷涂膜层进行溶液处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯热成科技(北京)有限责任公司 自动化喷涂设备
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