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申请/专利权人：有研亿金新材料有限公司;有研亿金(山东)新材料有限公司
摘要：本发明涉及磁控溅射靶材回收技术领域，公开了一种利用电磁感应加热技术高效回收扩散焊接靶材的方法。针对以纯铝或铝合金为中间层的扩散焊接靶材，采用在铝中间层处施加电磁感应交变电流，根据交流电的集肤效应，以涡流形式快速加热靶坯和铝中间层，由于铝中间层熔点较低，可快速加热至熔点以上融化，使得靶坯与铝中间层分离，最后通过机加工车削去除残靶坯表面铝残留以及清洗烘干，得到可以回收利用的高纯靶坯。本发明由于采用电磁感应快速加热，可在保证靶面纯度的前提下，有效提升回收效率和经济效益，且回收过程中环保无污染，可被广泛应用于含铝中间层的8英寸及12英寸靶材。
主权项：1.一种利用电磁感应加热技术高效回收扩散焊接靶材的方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）准备含铝中间层的扩散焊接靶材；（2）将上述靶材放置于加热台或加热板上，进行整体预热；（3）在上述靶材表面施加电磁感应交变电流，将铝中间层加热使其快速融化；（4）将融化后的靶材分离成靶坯和铝中间层；（5）采用机加工车削方法将附着在分离后的靶坯上的铝中间层残留车除，继而清洗烘干后得到高纯靶坯；（6）采用辉光放电质谱法进行杂质元素检测分析以确认所回收靶坯的实际纯度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 有研亿金新材料有限公司 有研亿金(山东)新材料有限公司 一种利用电磁感应加热技术高效回收扩散焊接靶材的方法
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