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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：变压器耦合式电容调谐TCCT匹配网络包括粗调和微调电路。粗调电路接收第一RF信号，并包括第一调谐可变电容电路和第一负载可变电容电路。第一调谐可变电容电路调整第一RF信号的频率以产生第二RF信号。第一负载可变电容电路连接至接地参考端子并配置成调整TCCT匹配网络的阻抗。微调电路包括第二调谐可变电容电路和第二负载可变电容电路。第二调谐可变电容电路微调第二RF信号的频率。第二负载变容电路连接至接地参考端子，并微调变压器耦合式电容调谐匹配网络的阻抗。
主权项：1.一种变压器耦合式电容调谐匹配网络，其包括：粗调电路，其被配置成接收第一射频RF信号并包括第一调谐可变电容电路，其被配置成调整所述第一RF信号的频率以产生第二RF信号，以及第一负载可变电容电路，其连接至接地参考端子并被配置成调整所述变压器耦合式电容调谐匹配网络的阻抗；以及微调电路，其包括第二调谐可变电容电路，其被配置成微调所述第二RF信号的频率，其中所述第二调谐可变电容电路的电容范围小于所述第一调谐可变电容电路的电容范围，以及第二负载可变电容电路，其连接至所述接地参考端子并配置成微调所述变压器耦合式电容调谐匹配网络的所述阻抗，其中所述第二负载可变电容电路的电容范围小于所述第一负载可变电容电路的电容范围。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 具有针对快速交替工艺的高速匹配网络阻抗切换的衬底处理工具
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