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申请/专利权人：北京与光科技有限公司
摘要：本发明提供一种光谱芯片及其制造方法，其中所述光谱芯片包括图像传感器和滤光结构，其中所述滤光结构被设置于所述图像传感器的入光侧，所述滤光结构包括至少二金属腔体和位于所述至少二金属腔体内的至少一光调制层，各所述金属腔体包括一上层金属薄膜和与所述上层金属薄膜相对应的一下层金属薄膜，所述上层金属薄膜和所述下层金属薄膜之间的间距为所述金属腔体的腔体高度，所述至少二金属腔体存在至少二不同的腔体高度。
主权项：1.光谱芯片，其特征在于，包括：图像传感器；和滤光结构，其中所述滤光结构被设置于所述图像传感器的入光侧，所述滤光结构包括至少二金属腔体和位于所述至少二金属腔体内的至少一光调制层，各所述金属腔体包括一上层金属薄膜和与所述上层金属薄膜相对应的一下层金属薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京与光科技有限公司 光谱芯片及其制造方法
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