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申请/专利权人：上海朗仕电子设备有限公司
摘要：本发明涉及一种适用于5微米超洁净工作空间的自净化回流炉装置，该装置包括自净化加热回流装置1和产品传动装置2；所述的自净化加热回流装置1包括壳体6以及壳体6内的自净化加热模组3和洁净气体注入组件；所述的产品传动装置2包括支架14以及支架14内的颗粒物负压收集器9、运动传动机构11和抽风马达12，该抽风马达12通过颗粒物负压收集器9和抽风管抽取由运动传动机构11所产生的颗粒物，并排出至外界。与现有技术相比，本发明确保进入炉膛内气体的洁净度，同时收集并集中处理颗粒物，更进一步地保证了回流炉内5微米超洁净空间的要求。
主权项：1.一种适用于5微米超洁净工作空间的自净化回流炉装置，其特征在于，该装置包括自净化加热回流装置1和产品传动装置2；所述的自净化加热回流装置1包括壳体6以及壳体6内的自净化加热模组3和洁净气体注入组件，所述的自净化加热模组3加热和过滤炉膛内的气体，所述的洁净气体注入组件抽取外界气体过滤注入自净化加热模组3；所述的产品传动装置2包括支架14以及支架14内的颗粒物负压收集器9、运动传动机构11和抽风马达12，该抽风马达12通过颗粒物负压收集器9和抽风管抽取由运动传动机构11所产生的颗粒物，并排出至外界。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海朗仕电子设备有限公司 一种适用于5微米超洁净工作空间的自净化回流炉装置
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