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申请/专利权人：三星显示有限公司
摘要：本公开的实施例可以提供沉积装置和隔热板，沉积装置包括：喷嘴，用于排出沉积物质；下部壳体，喷嘴安装在下部壳体上，并且沉积物质容纳在下部壳体中；上部壳体，覆盖下部壳体，暴露喷嘴的至少一部分，并且设置有暴露于外部的槽。根据本公开的实施例的隔热板及包括其的沉积装置可以提供均匀的沉积品质。
主权项：1.一种沉积装置，包括：喷嘴，用于排出沉积物质；下部壳体，所述喷嘴安装在所述下部壳体上，并且所述沉积物质容纳在所述下部壳体中；以及上部壳体，覆盖所述下部壳体，暴露所述喷嘴的至少一部分，并且设置有暴露于外部的槽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星显示有限公司 隔热板及包括其的沉积装置
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