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申请/专利权人：无锡江岚智能装备有限公司
摘要：本发明涉及硅片转移技术领域，具体为一种石英舟硅片转移装置，其能够顺利实现半片形式的硅片的转移，确保硅片不会发生损坏，其包括机器人、吸附装置和装卸料装置，吸附装置安装于机器人的机械臂，吸附装置上设置有吸附机构，吸附机构包括左右两排吸附片，同一排吸附片的同一面开设有吸附口且两排吸附片的吸附口方向相反，两排吸附片分别连接横向驱动机构，其中一排吸附片连接纵向驱动机构；装卸料装置包括定位台，定位台上设置有两个硅片收纳架及配合的两个顶升座，每个顶升座上均设置有两排顶部带支撑槽的顶升条，两个顶升座同一侧分别设置有下支撑座，下支撑座上开设有一排与支撑槽配合的定位槽。
主权项：1.一种石英舟硅片转移装置，其包括机器人、吸附装置和装卸料装置，吸附装置安装于机器人的机械臂，吸附装置上设置有吸附机构，其特征在于，吸附机构包括左右两排吸附片，同一排吸附片的同一面开设有吸附口且两排吸附片的吸附口方向相反，两排吸附片分别连接横向驱动机构，其中一排吸附片连接纵向驱动机构；装卸料装置包括定位台，定位台上设置有两个硅片收纳架及配合的两个顶升座，每个顶升座上均设置有两排顶部带支撑槽的顶升条，两个顶升座同一侧分别设置有下支撑座，下支撑座上开设有一排与支撑槽配合的定位槽，硅片位于收纳架内时呈倾斜状态且一侧支撑于硅片收纳架的其中一根侧支撑杆、底部支撑于支撑槽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡江岚智能装备有限公司 一种石英舟硅片转移装置
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