龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要：本发明公开了一种电子束闸的共轭消隐点自动调节方法，包括步骤：S1、在扫描电镜模式下将指定特征点移动到扫描图像的中心并放大；S2、将电子束闸从“半关断”状态切换到“打开”状态，并检测扫描图像中指定特征点的相对位移；将相对位移与预设阈值进行对比，当相对位移大于预设阈值时，则调节电子束闸前的聚焦透镜直至相对位移在预设阈值内。本发明自动完成共轭消隐点的调节流程，提升了电子光学柱的调试效率，进而加快电子束曝光工艺的测试，保证电子束曝光机的高效运行。
主权项：1.一种电子束闸的共轭消隐点自动调节方法，其特征在于，包括步骤：S1、在扫描电镜模式下将指定特征点移动到扫描图像的中心并放大；S2、将电子束闸从“半关断”状态切换到“打开”状态，并检测扫描图像中指定特征点的相对位移；将相对位移与预设阈值进行对比，当相对位移大于预设阈值时，则调节电子束闸前的聚焦透镜直至相对位移在预设阈值内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种电子束闸的共轭消隐点自动调节方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号