龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：帝尔激光科技(无锡)有限公司
摘要：本发明公开了一种利用分光光斑的激光刻蚀方法，采用多个分光形式的脉冲激光沿着扫描路径对刻蚀对象进行刻蚀，每个所述分光形式的脉冲激光由脉冲激光通过分束器后得到的若干个分光光斑组成；且激光刻蚀过程中，控制每次后一个分光形式的脉冲激光在前一个分光形式的脉冲激光的基础上沿所述扫描路径移动一个相对偏移量d，形成重叠的刻蚀效果。本发明规避了前一脉冲激光刻蚀时产生的生成物对下一个脉冲激光的干扰，使得刻蚀效果显著改善，刻蚀效果更均匀；同时极大的增加了加工效率。
主权项：1.一种利用分光光斑的激光刻蚀方法，其特征在于，采用多个分光形式的脉冲激光沿着扫描路径对刻蚀对象进行刻蚀，其中，每个所述分光形式的脉冲激光由脉冲激光通过分束器后得到的若干个分光光斑组成；且激光刻蚀过程中，控制每次后一个分光形式的脉冲激光在前一个分光形式的脉冲激光的基础上沿所述扫描路径移动一个相对偏移量d，形成重叠的刻蚀效果；所述相对偏移量d为相邻脉冲激光之间的间距；每个分光光斑的尺寸为D，每个脉冲激光的相邻分光光斑的间隔为a，满足D＜d＜a。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 帝尔激光科技(无锡)有限公司 一种利用分光光斑的激光刻蚀方法及激光刻蚀设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号