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申请/专利权人：精工爱普生株式会社
摘要：本发明提供一种能够谋求激光的波长的稳定化且能够高精度地测量移动镜的位置、能够生成波数轴波长轴的准确度高的光谱图案的分光装置、以及形状的测定精度高的形状测定装置。分光装置具备分析光学系统、测长光学系统以及运算装置，分析光学系统具备移动镜及第一受光元件，测长光学系统具备：第二光源，射出激光；气室，封入有吸收预定波长的光的气体，激光入射至该气室；射出光量检测部，检测从气室射出的光的光量并输出射出光量检测信号；光源控制部，基于射出光量检测信号控制激光的波长；以及测长部，使用激光获取与移动镜的位置对应的位移信号，运算装置具备移动镜位置运算部、光强度运算部以及生成光谱图案的傅里叶变换部。
主权项：1.一种分光装置，其特征在于，所述分光装置具备分析光学系统、测长光学系统以及运算装置，所述分析光学系统具备：移动镜，通过使从第一光源射出的分析光反射而附加第一调制信号；以及第一受光元件，接受包括试样来源信号以及所述第一调制信号的分析光，并输出第一受光信号，所述试样来源信号通过从所述第一光源射出的分析光与试样的作用而生成，所述测长光学系统具备：第二光源，射出激光；气室，封入有吸收预定波长的光的气体，所述激光入射至所述气室；射出光量检测部，检测从所述气室射出的光的光量，并输出射出光量检测信号；光源控制部，基于所述射出光量检测信号，控制所述激光的波长；以及测长部，使用所述激光来获取与所述移动镜的位置对应的位移信号，所述运算装置具备：移动镜位置运算部，基于所述位移信号，生成移动镜位置信号；光强度运算部，基于所述第一受光信号以及所述移动镜位置信号，生成表示所述移动镜的各位置处的所述第一受光信号的强度的波形；以及傅里叶变换部，对所述波形进行傅里叶变换，生成包括源自所述试样的信息的光谱图案。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 精工爱普生株式会社 分光装置以及形状测定装置
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