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一种混合气体发生装置及发生方法 

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申请/专利权人:核工业理化工程研究院

摘要:本发明公开了一种混合气体发生装置及发生方法。发生装置包括载气罐、气路管道、液路管道、液体罐、蒸发混合模块、气体流量控制器、液体流量控制器和加热控制器。加热控制器根据气体流量控制器对应的气体流量、液体流量控制器对应的液体流量以及混合气体所需的目标温度,确定恒温保持阶段中所需的目标加热功率,并在恒温保持阶段中利用目标加热功率对蒸发混合模块进行加热控制,使得气路管道输入的载气与液路管道输入的混合体在蒸发混合模块内雾化、汽化、混合得到混合气体。本方案能够基于合适的加热功率控制加热,提高混合气体的输出质量。

主权项:1.一种混合气体发生装置,其特征在于:包括载气罐、气路管道、液路管道、液体罐、蒸发混合模块、气体流量控制器、液体流量控制器和加热控制器;所述气路管道和液路管道分别与所述载气罐的输出口相连通且相互并联;所述载气罐输出的载气分别进入所述气路管道和液路管道;所述气体流量控制器安装在所述气路管道上用于控制所述载气罐经气路管道输出载气的气体流量;所述液体罐设置在所述液路管道上,所述载气罐输出的载气驱动所述液体罐内的液体流出,两者形成混合体;所述液体流量控制器用于控制所述液体罐流出液体的液体流量;所述蒸发混合模块的入口分别与所述气路管道和液路管道连通;所述加热控制器分别与所述气体流量控制器、所述液体流量控制器通信连接,用于根据所述气体流量控制器发送的气体流量、所述液体流量控制器发送的液体流量以及混合气体所需的目标温度,确定恒温保持阶段中所需的目标加热功率,并在恒温保持阶段中利用所述目标加热功率对所述蒸发混合模块进行加热控制,使得所述气路管道输出的载气和所述液路管道输出的混合体在所述蒸发混合模块内雾化、气化、混合,形成混合气体。

全文数据:

权利要求:

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