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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，更具体地说，涉及一种顶针升降机构。本发明提供的顶针升降机构，包括若干顶针机构以及支板，所述顶针机构包括顶针、重锤以及调平机构：所述顶针，用于插入重锤内部；所述重锤，为夹紧结构，用于夹紧固定顶针；所述调平机构与重锤底部相连接，用于调节顶针的位置；所述调平机构底部与支板相连接；所述若干顶针机构随着支板的上下移动而升降。本发明将重锤设计为夹紧结构，消除了顶针本身的薄弱应力集中点，使得顶针在升降过程中更加稳定，不易脱离，通过调平机构使得顶针高度可以进行独立调节，确保晶圆在顶针上的水平度，保证了晶圆在处理过程中不受损坏，提高了整个生产线的可靠性和稳定性。
主权项：1.一种顶针升降机构，其特征在于，包括若干顶针机构以及支板，所述顶针机构包括顶针、重锤以及调平机构：所述顶针，用于插入重锤内部；所述重锤，为夹紧结构，用于夹紧固定顶针；所述调平机构与重锤底部相连接，用于调节顶针的位置；所述调平机构底部与支板相连接；所述若干顶针机构随着支板的上下移动而升降。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 一种顶针升降机构
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