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申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：提供有机盐、包括其的光致抗蚀剂组合物和通过使用该光致抗蚀剂组合物形成图案的方法，所述有机盐由下面的式1表示。式1的描述提供在本文中。式1
主权项：1.有机盐，其由下面的式1表示：式1 其中，在式1中，L1为单键或1+a1价连接基团，其中L1不包含羰基C＝O；n1为1至5的整数；CY1为取代或未取代的任选地包含杂原子并且包含两个或更多个环的环状C1-C20二价烃基团；a1为1至5的整数；R为取代或未取代的任选地包含杂原子的直链、支化或环状的C1-C20单价烃基团，取代或未取代的任选地包含杂原子的直链、支化或环状的C1-C20二价烃基团，或取代或未取代的任选地包含杂原子的直链、支化或环状的C1-C20三价烃基团；m1和m2各自为1至3的整数；和A+为抗衡阳离子。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星电子株式会社 有机盐、包括其的光致抗蚀剂组合物和通过使用该光致抗蚀剂组合物形成图案的方法
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