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申请/专利权人：青岛和昱阳新材料有限公司

摘要：本申请涉及镀膜设备技术领域，且公开了一种靶磁控溅射镀膜机，包括外支架，所述外支架的内腔活动套接有第一罐体，并在第一罐体的内腔中活动套接有第二罐体，在外支架内腔的底部固定安装有与支撑杆相对应的空心连杆，同时，在支撑杆外表面的左右两侧分别设有一组导向套筒，所述支撑杆与空心连杆之间固定安装有发生器。本申请提供的一种靶磁控溅射镀膜机，对于第一罐体、第二罐体及其上结构的设置，可在输出机构带动硅碳棒连续性向右侧移动的过程中，随着第一罐体和第二罐体之间的交替左右移动以及腔室A和腔室B真空状态的交替变化，以确保发生器在对相应段的硅碳棒进行镀膜作业时，其所处的空间一直保持为真空状态。

主权项：1.一种靶磁控溅射镀膜机，包括外支架1，所述外支架1的内腔活动套接有第一罐体2，并在第一罐体2的内腔中活动套接有第二罐体3，其特征在于：所述外支架1内腔的顶部固定安装有支撑杆6，而在外支架1内腔的底部固定安装有与支撑杆6相对应的空心连杆7，同时，在支撑杆6外表面的左右两侧分别设有一组导向套筒8，所述支撑杆6与空心连杆7之间固定安装有发生器4，所述发生器4位于两组所述导向套筒8之间且偏右侧安装，所述外支架1的中部设有贯穿其左右两侧的并穿过发生器4内腔中部的硅碳棒5；所述第一罐体2的内腔与第二罐体3的外表面之间形成腔室A，所述第一罐体2两侧的端部分别设有一组第一密封垫圈9与硅碳棒5的外表面相接触，所述第一罐体2左侧端面的顶部且位于腔室A中设有活动套接在支撑杆6上的第一驱动电机10，且第一驱动电机10与支撑杆6上左侧的导向套筒8之间形成传动连接，同时，在第一罐体2左侧端面的底部且位于腔室A中设有活动套接在空心连杆7上的第一真空泵组11，且空心连杆7与第一真空泵组11之间通过金属软管相连通；所述第二罐体3内腔形成腔室B，且发生器4位于第二罐体3的腔室B，所述第二罐体3两侧的端部分别设有一组第二密封垫圈12与硅碳棒5的外表面相接触，所述第二罐体3右侧端面的顶部且位于腔室B中设有活动套接在支撑杆6上的第二驱动电机13，且第二驱动电机13与支撑杆6上右侧的导向套筒8之间形成传动连接，同时，在第二罐体3右侧端面的底部且位于腔室B中设有活动套接在空心连杆7的第二真空泵组14，且空心连杆7与第二真空泵组14之间通过金属软管相连通。

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