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申请/专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
摘要：本发明提供一种沟槽深度在线测量的优化方法，包括以下步骤：提供两个第一检测晶圆，第一检测晶圆中形成有沟槽，采用第一配方在线检测沟槽深度的在线量测数据，第一检测晶圆包括由下至上依次设置的第一部分、第二部分和第三部分，沟槽贯通所述第三部分和第二部分，并刻蚀停止在第一部分中，第二部分包括ELK层；在一第一检测晶圆中填充金属材料，并去除所述沟槽外侧的金属材料，获得第二检测晶圆；制备第一检测样品和第二检测样品；通过TEM测量第一检测晶圆中沟槽的第一部分和第三部分的深度，还测量第二检测晶圆中沟槽的第二部分的深度，并根据测量结果优化第一配方并获得第二配方，使得TEM测量结果更加可靠，并确保在线量测准确性高。
主权项：1.一种沟槽深度在线测量的优化方法，其特征在于，包括以下步骤：提供两个第一检测晶圆，所述第一检测晶圆中形成有沟槽，并采用第一配方在线检测所述沟槽深度的在线量测数据，其中，所述第一检测晶圆包括由下至上依次设置的第一部分、第二部分和第三部分，所述沟槽贯通所述第三部分和第二部分，并刻蚀停止在所述第一部分中，所述第二部分包括ELK层；在一个所述第一检测晶圆中填充金属材料，并通过平坦化处理工艺去除所述沟槽外侧的金属材料，以获得第二检测晶圆；通过所述第一检测晶圆制备第一检测样品，通过所述第二检测晶圆制备第二检测样品；通过TEM测量所述第一检测晶圆中所述沟槽的第一部分和第三部分的深度，还测量所述第二检测晶圆中所述沟槽的第二部分的深度，并根据测量结果优化所述第一配方并获得第二配方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥晶合集成电路股份有限公司 一种沟槽深度在线测量的优化方法
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