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声学滤波器及其制备方法、电子设备 

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申请/专利权人:华为技术有限公司

摘要:本申请实施例提供一种声学滤波器及其制备方法、电子设备,用于改善声学谐振器内激发的横向模式的影响。声学滤波器包括压电衬底和位于压电衬底一侧的叉指换能器。叉指换能器包括第一汇流条和第二汇流条,第一汇流条和第二汇流条之间包括沿第一方向排布的边缘区域、间隔区域、中心区域和倾斜区域。第一电极指位于边缘区域、间隔区域和中心区域的部位平行于第一方向,且位于倾斜区域的部位,同时相对于第一方向和第二方向倾斜。第一电极指位于倾斜区域的部位的所激发的声表面波的声速降低,以使该部分形成波导,进而调节叉指电极的电荷分布,抑制横向模式的激发。上述设置仅需调整部分第一电极指的延伸方向,进而有利于缩小谐振器的占用面积。

主权项:1.一种声学滤波器,其特征在于,包括:压电衬底和位于所述压电衬底一侧的叉指换能器;所述叉指换能器包括第一汇流条和第二汇流条,所述第一汇流条和所述第二汇流条沿第一方向相对设置,所述第一方向平行于所述压电衬底;所述叉指换能器还包括叉指电极,所述叉指电极包括多个第一电极指和多个第二电极指,在所述第一方向上,所述第一电极指和所述第二电极指相间隔且相向地设置,所述第一电极指和所述第二电极指中的一个与所述第一汇流条连接,另一个与所述第二汇流条连接;在第二方向上,所述第一电极指和所述第二电极指相间隔且交替地设置,所述第二方向平行于所述压电衬底,且所述第二方向垂直于所述第一方向;所述第一汇流条和所述第二汇流条之间包括沿第一方向排布的边缘区域、间隔区域、中心区域和倾斜区域,所述倾斜区域位于所述中心区域和所述间隔区域之间,所述间隔区域位于所述倾斜区域和所述边缘区域之间;所述第二电极指位于所述边缘区域;所述第一电极指位于所述边缘区域、所述间隔区域和所述中心区域的部位平行于所述第一方向,所述第一电极指位于所述倾斜区域的部位同时相对于所述第一方向和所述第二方向倾斜;任一沿所述第一方向相间隔且相向设置的所述第一电极指和所述第二电极指中,所述第一电极指位于所述中心区域的部位,位于相对的所述第二电极指的第一侧。

全文数据:

权利要求:

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