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申请/专利权人:株式会社迪思科
摘要:本发明提供激光加工装置,其能够监视激光束向多面镜的照射位置。激光加工装置具有:保持工作台,其对被加工物进行保持;激光振荡器;多面镜,其具有多个反射面,该多面镜对从激光振荡器射出的激光束进行扫描;聚光器,其将通过多面镜而扫描的激光束会聚而向被加工物照射;以及被照射面确定单元,其确定多个反射面中的被照射激光束的被照射面。
主权项:1.一种激光加工装置,其特征在于,该激光加工装置具有:保持工作台,其对被加工物进行保持;激光振荡器;多面镜,其具有多个反射面,该多面镜对从该激光振荡器射出的激光束进行扫描;聚光器,其将通过该多面镜而扫描的该激光束会聚而向该被加工物照射;以及被照射面确定单元,其确定多个该反射面中的被照射该激光束的被照射面。
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