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申请/专利权人:三星电子株式会社
摘要:一种噪声过滤方法,包括:使用转换模型将扫描电子显微镜SEM图像转换为转换设计图像;将转换设计图像转换为灰度共现矩阵GLCM;提取GLCM的统计特征;以及基于统计特性确定转换设计图像是否包括噪声。
主权项:1.一种噪声过滤方法,包括:使用转换模型将扫描电子显微镜SEM图像转换为经转换的设计图像;将所述经转换的设计图像转换为灰度共现矩阵GLCM;提取所述GLCM的统计特征;以及基于所述统计特性确定所述经转换的设计图像是否包括噪声。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 三星电子株式会社 噪声过滤方法和扫描电子显微镜(SEM)设备对准方法
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