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一种激光M2因子测试光路的调试方法和测试装置 

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申请/专利权人:华太极光光电技术有限公司

摘要:本发明提供一种激光M2因子测试光路的调试方法和测试装置,先在电机载物台上放置第一反射镜的位置放置光阑,电机载物台之后放置光功率计,调节准直激光器的俯仰和偏摆,使电机载物台移动到前后两个极限位置时光功率计测量的光功率变化在预定变化范围内。再将光阑所在位置换回第一反射镜,并在第二反射镜的输出光路上依次放置光阑和光功率计;同时调整第一反射镜和第二反射镜的俯仰和偏摆,使电机载物台移动到前后两个极限位置时光功率计测量的光功率变化在预定变化范围内。可有效解决被测激光光束传播方向与电机移动方向存在偏离的问题,方法简单容易实现。

主权项:1.一种激光M2因子测试光路的调试方法,其特征在于,光路测试所需的第一反射镜和第二反射镜放置在电机载物台上的预设位置,且汇聚透镜在所述第一反射镜之前,调试方法包括:步骤A1,在所述汇聚透镜之前放准直激光器后拆去汇聚透镜,所述电机载物台上放置所述第一反射镜的位置放置光阑,所述电机载物台之后放置光功率计;步骤A2,所述准直激光器发出的激光经所述光阑到达所述光功率计,调节所述准直激光器的俯仰和偏摆,使所述电机载物台移动到前后两个极限位置时所述光功率计测量的光功率变化在预定变化范围内;步骤A3,将所述光阑所在位置换回所述第一反射镜,并在所述第二反射镜的输出光路上依次放置所述光阑和所述光功率计;步骤A4,同时调整所述第一反射镜和所述第二反射镜的俯仰和偏摆,使所述电机载物台移动到前后两个极限位置时所述光功率计测量的光功率变化在预定变化范围内;步骤A5,封装所述第一反射镜、所述第二反射镜和所述电机载物台形成光程改变装置。

全文数据:

权利要求:

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