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申请/专利权人：电子科技大学
摘要：本发明提供了一种纳米空气沟道光电二极管阵列，所述阵列包括三层结构，第一层是透明衬底和位于其上的多个纳米空气沟道光电二极管，第二层是垂直互联金属柱，第三层是介质基板和位于其上的电路，第一层中的多个纳米空气沟道光电二极管是光电转换元件，第三层中的电路包括射频电路、天线阵列和信号读出电路；第一层的纳米空气沟道光电二极管和第三层的电路之间通过第二层的垂直互联金属柱进行电互联。本发明提出的纳米空气沟道光电二极管阵列可以克服单个器件输出的毫米波太赫兹源输出功率小的限制，更好的发挥纳米空气沟道光电二极管响应度大、带宽大的优势，也可以用作毫米波太赫兹的外差探测成像，还可用于光学焦平面成像。
主权项：1.一种纳米空气沟道光电二极管阵列，其特征在于，所述阵列包括三层结构，第一层为透明衬底和位于其上的多个纳米空气沟道光电二极管，纳米空气沟道光电二极管是光电转换元件，用于处理输入信号，第二层是用来进行电互联的多个垂直互联金属柱，第三层是介质基板和位于其上的电路，所述电路包括直流-交流隔置电路、射频电路、天线阵列、信号读出电路；纳米空气沟道光电二极管阵列整体采用垂直结构，第一层包括透明衬底和多个纳米空气沟道光电二极管，在所述衬底之上设有光阴极，在所述光阴极之上设有纳米介质层，在所述纳米介质层之上设有阳极，在所述光阴极与阳极之间的纳米介质层边缘外设有纳米空气沟道，纳米空气沟道的长度由纳米介质层决定；第二层设置多个垂直互联金属柱，垂直互联金属柱与阳极和光阴极连接在一起，并作为所述介质基板的支撑；第三层设置介质基板、直流偏置线、辐射接收天线、中频输出电路、信号读出电路、处理电路，用于满足毫米波太赫兹输出及探测成像的需要。
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权利要求：
百度查询： 电子科技大学 一种纳米空气沟道光电二极管阵列
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