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一种多晶硅颗粒制备装置及制备方法 

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申请/专利权人:北京瑞思达化工设备有限公司

摘要:本发明属于多晶硅颗粒制备技术领域,具体的说是一种多晶硅颗粒制备装置及制备方法,包括入料管,入料管的下端连接有反应器,反应器的内部设有调节结构;反应器包括:反应腔,反应腔开设在反应器的内部;通气机,通气机设在反应器的下端,且通气机与反应腔相连通;调节结构包括:调节气管,调节气管设在反应器的内壁。通过设置调节气管,当硅烷与氢气的混合气被通入反应器的内部,使得颗粒状多晶硅在反应器内处于流化状态时,一些硅烷与氢气的混合气将会从调节气管通出,并与颗粒硅相接触,不仅不会影响流化状态的颗粒硅,还可以将接近反应器内壁的颗粒硅吹开,从而使得颗粒硅不会与反应器内壁发生碰撞。

主权项:1.一种多晶硅颗粒制备装置,其特征在于:包括入料管1,所述入料管1的下端连接有反应器2,所述反应器2的内部设有调节结构3;所述反应器2包括:反应腔21,所述反应腔21开设在反应器2的内部;通气机22,所述通气机22设在反应器2的下端,且通气机22与反应腔21相连通;所述调节结构3包括:调节气管302,所述调节气管302设在反应器2的内壁,且调节气管302的一端伸至反应腔21的内部,且调节气管302设在隔离板24与通气机22之间;条形排风口303,所述条形排风口303设在调节气管302伸至反应腔21内部的一端。

全文数据:

权利要求:

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