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申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学
摘要：本发明公开了一种用于六面体的多面共基准高精度测量装置及其应用方法，本发明装置包括测试干涉仪、监控干涉仪、第一调整台和第二调整台，测试干涉仪带有第一标准平面镜头，监控干涉仪带有第二标准平面镜头，第一调整台上设有标准平面反射镜头，测试干涉仪、监控干涉仪、第一调整台布置于第二调整台的四周，第二标准平面镜头、标准平面反射镜头的光轴平行且与第一标准平面镜头的光轴相互垂直，且第一标准平面镜头的光轴与六面体的相邻被测面组的两个被测面的光轴夹角为45°。本发明旨在针对六面体避免频繁的基准转换而存在误差累积和扰动问题，实现多个面之间垂直度、平行度误差的高精度和全表面测量，以提升六面体测量的精确度和测量效率。
主权项：1.一种用于六面体的多面共基准高精度测量装置，其特征在于，包括测试干涉仪（1）、监控干涉仪（2）、第一调整台（3）和用于安装被测量的六面体（5）的第二调整台（4），所述测试干涉仪（1）带有第一标准平面镜头（11），所述监控干涉仪（2）带有第二标准平面镜头（21），所述第一调整台（3）上设有标准平面反射镜头（31），所述测试干涉仪（1）、监控干涉仪（2）、第一调整台（3）分别布置于第二调整台（4）的四周，所述第二标准平面镜头（21）、标准平面反射镜头（31）的光轴平行且与第一标准平面镜头（11）的光轴相互垂直，且第一标准平面镜头（11）的光轴与六面体（5）的相邻被测面组的两个被测面的光轴夹角为45°，所述测试干涉仪（1）发出的准直光束一部分被第一标准平面镜头（11）反射形成参考光束、另一部分经过第一标准平面镜头（11）透射为测试光束，分别经六面体（5）的相邻被测面组的两个被测面、第二标准平面镜头（21）和标准平面反射镜头（31）反射后沿原路返回测试干涉仪（1）与参考光束干涉以获得测试光束、参考光束之间的干涉图。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 用于六面体的多面共基准高精度测量装置及其应用方法
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