买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：江苏墨安电子有限公司

摘要：本发明公开了一种半导体生产装置及能效优化控制方法，属于半导体生产技术领域，该半导体生产装置包括CVD设备主体；传输机构；排气机构；驱动机构；移运机构；控制机构；该半导体生产装置能效优化控制方法，通过排气机构与传输机构控制，利用定时开关的开闭不间断的实现多个半导体晶片镀膜，同时控制内部热量的循环利用；该装置可批量进行半导体的化学气相沉积镀膜，同时可根据不同半导体材料镀膜的不同反应时间调控整体机械结构，生产高效；且本半导体生产装置的能效优化控制方法，该方法精确控制反应气体流出，同时回收反应后产生的热能，有效减少设备整体能耗，且避免反应气体浪费。

主权项：1.一种半导体生产装置，其特征在于，包括：CVD设备主体，所述CVD设备主体包括壳体1及壳体1顶部的反应保护罩2，所述反应保护罩2内部设有固定在壳体1上的加热板3，反应保护罩2上连接有供气管4，所述壳体1内部设有供应机构10，供应机构10用于设备整体供电及供气，供气管4远离反应保护罩2端延伸至壳体1内部与所述供应机构10连接，所述加热板3中部设有与加热板3脱离的导热板11；传输机构5，所述传输机构5包括一端伸入壳体1内部的第一传输带501，第一传输带501远离壳体1端外部固定有保温罩502，所述第一传输带501上固定有若干组卡爪，每组卡爪设有若干卡块503，所有的卡块503沿圆形方向排列，卡爪内部卡接有样品载盘504；排气机构6，所述排气机构6包括固定在所述反应保护罩2上的排气管601，排气管601远离排气机构6端沿保温罩502一端插入延伸至所述第一传输带501上方，排气管601穿过保温罩502后连接尾气处理设备；驱动机构7，所述驱动机构7包括固定在所述导热板11底部的活塞杆701，活塞杆701远离导热板11端固定有气缸702；移运机构8，所述移运机构8包括固定在壳体1内壁上的弧形行程滑轨801，弧形行程滑轨801内部滑动连接有移运爪802；控制机构9，所述控制机构9包括转动连接在壳体1上的曲杆901，曲杆901远离壳体1端连接有控制盒902，控制盒902上集成有若干的控制按钮903，控制盒902内部集成有PLC控制模块；所述排气管601外部固定电磁阀602，排气管601内部固定有导热金属管603，导热金属管603侧面固定有导热金属环状管604，导热金属环状管604外部固定有封板605，导热金属环状管604沿导热金属管603长度方向设有若干，所述保温罩502内部固定有隔断板，隔断板将保温罩502内部区域分割为若干的独立区域，每个独立区域内部均设有一导热金属环状管604，封板605侧面连接有供液管606，供液管606远离封板605端沿保温罩502侧面伸出，供液管606间隔设置，每个供液管606均连接有不同的酸洗液供应设备。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏墨安电子有限公司 一种半导体生产装置及能效优化控制方法