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申请/专利权人：江苏鑫华半导体科技股份有限公司;中国矿业大学
摘要：本发明属于金属材料变形热处理技术领域，提供了一种316L不锈钢制多晶硅还原炉焊缝的降应力方法。包括如下步骤：对焊缝进行输出功率500‑1200W的超声冲击处理，使表层在100μm深度以上晶粒产生塑性变形；超声冲击处理后于550‑750℃下进行逆变退火处理；焊缝打磨至表面冲击坑的覆盖面积低于50％，再对焊缝进行冲击覆盖率500‑2000％的超声冲击处理，即完成降低残余应力。本发明使316L不锈钢制多晶硅还原炉的焊缝在残余拉应力被降低的同时，表层为晶粒细化的低缺陷密度的奥氏体单相晶粒，保护其耐腐蚀性，并可实现不挂污、藏水，满足多晶硅生产的超纯净要求。
主权项：1.一种316L不锈钢制多晶硅还原炉焊缝的降应力方法，其特征在于，包括如下步骤：对焊缝进行输出功率500-1200W的超声冲击处理，使表层在100μm深度以上晶粒产生塑性变形，超声冲击处理后于550-750℃下进行逆变退火处理；退火处理结束后，对焊缝打磨至表面冲击坑的覆盖面积低于50％，再对焊缝进行冲击覆盖率500-2000％的超声冲击处理，即完成降低残余应力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鑫华半导体科技股份有限公司 中国矿业大学 一种316L不锈钢制多晶硅还原炉焊缝的降应力方法
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